| 氮气 通常用于冷却及清除程序，氮气在电子及半导体产品的生产中不可或缺。 |
氩气 具有高稳定性及极低的反应性，氩气是太阳能及半导体薄片生产中的关键气体。 |
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| 氢气 许多电子制造商均使用氢气，氢气可作为薄膜沉积的载运气体以及炉处理中的还原剂。 |
氦气 氦气在平板显示器市场起着重要作用，可用作冷却剂，同时也是半导体设备制造所需受控环境中的重要组成部分。 |
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| 二氧化碳 高纯度二氧化碳有助于清洗应用中超小颗粒的清除，在关键半导体层的干燥中，可以防止光刻胶的崩溃。 |
氨气 在氮基薄膜以及外延晶体的发展中，氨气是最常见的氮前体。其超高纯度的特性对发光二极管行业中外延晶体的应用非常关键。 |